电子行业生产过程中大量使用的化学（xué）品与特殊气体，持续产生成分复杂的工艺废气。

光电（diàn）显示（shì）器件（jiàn）

光电显示器件是指依靠矩阵点或（huò）线段的电子元件控制并激励屏幕发光，呈现 信息供视觉感（gǎn）受的器件，主要包含 LCD、OLED 等。

完整的TFT-LCD生（shēng）产工艺流程主要包括阵列工程、彩膜工（gōng）程、成盒工程三大部分（fèn），产生大量有害废气，包括酸性、碱性（xìng）、有机废气及含氟废气等（děng）。

AMOLED生（shēng）产工艺包括（kuò）四个（gè）组（zǔ）成部分：阵列工艺、蒸镀工艺、切割工序（xù）、模（mó）组（zǔ）工（gōng）序，阵列、模（mó）组工序产生酸性、碱性、有机废气等废气。

集成电路

集成电路制造的核心工艺流程（chéng）主要包括掺杂、光刻、刻蚀和（hé）薄膜工艺。

在硅片清洗、氧化、湿法腐蚀、干法腐蚀、离子注入、扩散、化学（xué）气相沉积等环节产生大量酸（suān）碱、砷烷、磷烷、有机等工艺废气。

一（yī）、 酸碱废气处理系统

处理IC硅片清洗（xǐ），以及TFT-LCD阵列、彩膜，AMOLED阵（zhèn）列等生（shēng）产工艺中产生的酸性、碱性污染物气体，实现达标排放。

适用废气

酸性气体有磷酸、乙（yǐ）酸、硝酸（suān）、盐酸、氮氧化物、氟化物、硫（liú）酸、氯气等。碱性气体有氢氧化钾、氨等。

1.1原理

采用“洗涤法”处（chù）理，废气通过洗涤塔,与其中（zhōng）的洗涤（dí）夜发生中和反（fǎn）应得（dé）到净化（huà）；其中酸性气体通过碱性洗涤液，碱性（xìng）气体通过酸性洗涤液。

具体流程：

废气由进风口流入，从下至上流过填（tián）料床，洗涤液从上（shàng）至下流过填料床。这种气液逆流方式使废气与洗涤（dí）液充分作用，有效清除废气中的杂（zá）质。

 洗涤液流入洗涤塔（tǎ）底（dǐ）部的污水槽，循（xún）环泵循环洗涤液，为了达到最大的去除效率，在洗涤塔顶（dǐng）部的（de）非固定式螺旋（xuán）喷嘴为填料床提供（gòng）均（jun1）匀而连续的洗涤（dí）液。

在洗涤塔的出口处，净化过的气体流过除雾层，清除99% 的10微米的（de）水雾。n 洗涤塔使（shǐ）气体从气（qì）态转化为（wéi）液态的过程称（chēng）为化学（xué）吸附。通（tōng）过洗涤塔（tǎ）内部放置的填（tián）料，使这一转化的效率大（dà）大（dà）的提高；填（tián）料不但增大了气液混合物的（de）接触面积，同时不断破坏水滴，使新形成的水（shuǐ）滴表面总是暴（bào）露于（yú）空气中（zhōng），极（jí）大的提高了吸附效率。

洗（xǐ）涤液的酸碱度通过加药设施精（jīng）确控制，使得废气中可溶性部分被洗涤液吸附，转化成中性的液体最终排放出洗涤塔。

1.2主要设备

包含风机、塔体、水泵、螺旋喷头、除雾器填料等。

1.3处理（lǐ）效果

采用这（zhè）种处理方案可以极好的除去酸碱废气，最终达（dá）标排放；并且（qiě）还有（yǒu）低压力损失（节省电力），不易堵塞，维修简便等优点。是目前光伏产业中最（zuì）常（cháng）用的处理（lǐ）方（fāng）案（àn）。

二、 挥发性有机废气处理系统（tǒng）

有机废气处理（lǐ）系统吸附浓缩IC、光（guāng）电产业生产过程中（zhōng），黄光区内光阻涂布等制程（chéng）工艺挥发的有机物，并输送至后序中央有机排气系统集（jí）中处理。适（shì）用于含PGMEA、PGME、IPA、环己酮等为主的有机挥发性气体。

有机废气的处理一般采用“吸附法”、“燃烧法”或者（zhě）“吸附+燃烧法”。

“吸附法”是利（lì）用活性炭等吸附剂的吸附能力，将有机废气吸附于（yú）设备内，定期更换（huàn）吸附剂，达到处理效果。

“燃烧法”是将有机废气通过（guò）RTO(蓄热（rè）式氧化器)、RCO（蓄热式催化氧化器），高（gāo）温分解为水和二氧化碳。

“吸附+燃烧法”分为“活性炭吸附（fù）+浓缩燃烧”和“浓缩转轮+燃烧”两种工（gōng）艺。

（1）“活性炭吸（xī）附+浓缩燃烧”工艺。

吸附浓缩-催化燃（rán）烧有机废气处理工艺，采（cǎi）用阻力小的活性炭为VOCs吸附材料，将废气中的VOCs吸附（fù）达标排放。脱附（fù）浓缩的VOCs经催化（huà）低温燃烧，转化为洁净的CO2和H2O ，达标排放。吸附床一般配置两台（tái）以上，交替吸脱附，当一台吸附床吸（xī）附的VOCs达（dá）到饱和吸附量时，转入脱附再（zài）生工序；同时，另一台吸附床转入吸附净化工序。脱附是通（tōng）过将小风量催化燃烧放热后的烟（yān）气(约吸附风量的1/10)引（yǐn）入（rù）待脱附的吸附床，使吸附的VOCs以高浓（nóng）度脱附下来，随（suí）后（hòu）进入催（cuī）化燃烧（shāo）室进行低温无焰式催（cuī）化燃烧，燃烧产物为CO2和H2O。浓缩后的VOCs催化燃烧放热（rè）足以维持自身催（cuī）化反应，运行以后不需额外提供能量，节能显著。蜂窝活性炭显（xiǎn）著特点是阻力低,因此非常适（shì）合于大风（fēng）量、低浓度有机废气的处理。

（2）“浓缩转轮+燃烧”工艺

技术原理沸石转轮浓缩（suō）吸附装置是用吸附－脱附－浓缩三项连续变温的吸（xī）、脱附程序，使低浓度、大风量有机（jī）废气浓缩为高浓浓缩气体。其（qí）装置特性适合（hé）处理大流量、低（dī）浓度、含（hán）多种有机成分的废气。通过转轮的旋转，可在转轮上同时完成气体的（de）脱附和转（zhuǎn）轮的再生过程。进入浓缩转轮的有（yǒu）机废气在常温（wēn）下被转（zhuǎn）轮吸附（fù）区吸（xī）附（fù）净化后直接排放至大气，接着因转轮的转动（dòng）而（ér）进入脱附区，吸附了有机物质的转轮在此区内脱附，吸附在转轮上（shàng）的（de）有机物被分离、脱（tuō）附、进入后（hòu）续燃烧系统，最终被氧（yǎng）化分解成二氧化碳和水，如此循环工作。        

燃烧室中（zhōng）的蓄热（rè）式陶瓷填充床可使热能得到最大限度的回收（shōu）利用（热回收率（lǜ）大于95%），处理有机气（qì）体时不用（yòng）或使用很少的燃料，节能效果（guǒ）好（hǎo），运行费（fèi）用低，不（bú）产（chǎn）生二次（cì）污染，但整（zhěng）体设备（bèi）的造价很高，适用于有机废气量大项目。

三、氮氧化物废气（qì）处理系统

设计（jì）功能

有效去除废气中氮氧化物及其引起（qǐ）的黄烟问题。

工艺原理

添（tiān）加化学药剂进行氧（yǎng）化与还原反应，根据废气成（chéng）分、浓度组合设计1-3级（jí）洗涤塔：

第1级，氧化塔，添加H2SO4，NaClO2等氧化NO；

第2级，还原（yuán）塔，添加NaOH,NaHS等还原（yuán）NO2；

第3级，吸收塔，吸（xī）收H2S。

系统优势

可有效解决氮氧化物引起的黄烟问题；可选双 PH和ORP计设计（jì），确保系统稳定可靠。整体氮氧化物去除（chú）率（lǜ）超过95%。

三、 硅（guī）烷废（fèi）气处理系统

硅烷废气产（chǎn）生于AMOLED阵列工艺阶段。 

硅烷即硅（guī）与氢的（de）化合（hé）物，是一系列化合物（wù）的总称，包（bāo）括甲硅烷、乙（yǐ）硅烷和一些硅氢化合物，硅烷废气处理采用燃烧+洗涤（dí）法净化硅烷气体，系（xì）统内包（bāo）含：硅烷废气燃烧设备（bèi）+滤筒除（chú）尘器+喷淋塔。

工作原理：工作原理是硅烷与输入的压缩（suō）空气或新风补气口补入的空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后（hòu）生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用洗涤塔（tǎ）喷淋吸收形成氨水。内部燃烧室采用特殊的泄压装置（zhì），即使在内部压（yā）力突（tū）然增大的情况下（xià）仍（réng）能正（zhèng）常工作（zuò），同（tóng）时配备了氮气（qì）入口，更加大了设备的安全性。

在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的（de）粉尘通过（guò）排渣口排出（chū），这使粉尘收集处理变得更容易、更（gèng）有效，后续工艺还配套了滤筒除尘技术，进一步去除氧化硅粉尘，提升粉尘的（de）治理效率。

四、湿式（shì）静电除尘系统

有效去除含尘腐蚀性废（fèi）气中的酸雾和粉尘颗粒物。过滤（lǜ）后废气进入（rù）后续处理工（gōng）序。

适（shì）用废气

适用于氟（fú）化物（尘氟）、二氧化（huà）硅、塑胶粉尘（chén）、白烟等（děng）。

工艺原理

烟气进入湿式（shì）电除尘器，由于连续的喷雾系统和电晕极放电形成的高压静电场，使得（dé）烟气（qì）中的粉尘团聚（jù）凝并、增湿，粉尘在电场（chǎng）中荷电后一起向收尘极极板运动，喷雾系统在收（shōu）尘极极（jí）板上形成完整的水膜，水膜使极板保持（chí）洁净。在重力的作（zuò）用下，收集的粉尘随着水膜流（liú）下，污水最后经过排污口排出。

性（xìng）能特点（diǎn）：

▲1、粉尘控制——烟（yān）尘排放浓度可控制在10mg/m3 以下，相当于零排放（fàng）。

▲2、PM2.5超细粉尘控制——具备PM2.5微尘凝结长大所需要的过饱和水汽环境，通过蒸汽相变（biàn）促进实现PM2.5高效脱除，对PM2.5的去除效（xiào）率高达99%以上。

▲3、效率高（gāo）投（tóu）资低，湿式电除尘器运行在烟气50℃左右，烟气流速最高可达3m/s，设备（bèi）大小相当于干式电除尘器的1/4，占（zhàn）地面（miàn）积小。

▲4、设备外围采用碳（tàn）钢框（kuàng）架，与废气接触的部位全部采用304不锈钢封面，具有很好的抗腐蚀性，使用寿命长。

▲5、湿式（shì）电（diàn）除（chú）尘器能够适应各种烟气洁净（jìng）的要求，能够有效去除亚微（wēi）米的污染（rǎn）物粒（lì）子，不管这些微（wēi）粒具有哪些物理和化学性质，而其他的除尘设备，如喷淋塔，布袋除（chú）尘器（qì），干式静电（diàn）除尘器等，对烟气的成分和（hé）性质变化很敏感。

▲6、自（zì）清洗能力能够减少日常设备维（wéi）护，同时形成的水膜能够（gòu）减少清洗极板的用水量，冲洗（xǐ）水可以循环利用。

▲7、 压降小（xiǎo），不超过300Pa。